快速和低成本的薄膜成像测厚系统，zei大能够实现对直径为300mm wafer 进行测试，广泛应用于：半导体 多晶硅, GaAs, GaN, InP, ZnS, SiGe …
电介质材料 SiO2, Si3N4, TiO2, ITO, ZrO2, BTS, HfO2 …
聚合物 PVA, PET, PP, PR …
LCD a-Si, n+a-Si, ITO, 氧化物, 液晶盒, 光阻材料膜，聚酰亚胺膜，石英 …
光学镀膜 硬镀，抗反射膜，滤光片，包装膜，功能膜
可记录材料 感光鼓，视频头，光盘 …
其它 CRT和显象管荫罩上的光阻材料膜，薄金属膜，激光镜，AlQ3…

波长范围：250至1050纳米
光斑尺寸：500微米至5毫米
样品尺寸：zei大直径300毫米
基板尺寸：达50毫米厚 层数：多达5层
可测量厚度范围：10纳米到50微米
测量时间：2毫秒- 1秒/
定位重复性：〜1微米
精度：优于0.5％
重复性：<2Ǻ

•容易设置和操作的软件窗口
•适用于各种不同的几何基板，zei大达300x300mm系列或300毫米直径
•可以描绘各种不同的式样图案，如直线，极性，方形或任意坐标
•先进的光学和硬件的设计，确保zei佳的系统性能
•阵列式探测器，以确保快速测量
•测量薄膜厚度及其折射率，zei多可以测量高达5层薄膜
•配备了光学常数的综合数据库系统
•先进TFProbe软件允许用户可以选择NK模式，或分散并复合的的EMA模式对样品分析
•升级至中型（显微分光光度计）与模式识别，能够映像图案或功能结构
•适用于许多不同厚度不同类型的基板
•二维和三维图形输出和良好的用户的数据统计的管理界面

SRM100薄膜成像测量系统信息由北京燕京电子有限公司为您提供，如您想了解更多关于SRM100薄膜成像测量系统报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途