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半导体专用检测仪器设备
FBAR用AlN薄膜测试系统
FBAR用AlN薄膜研究利器---德国aixACCT公司aixDBLI晶圆双光束激光干涉仪测量系统   国际上FBAR用AlN薄膜的研究如火如荼,各......
多功能薄膜沉积系统
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PECVD
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电子束蒸发系统
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反应离子刻蚀
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磁控溅射系统
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微波等离子体增强化学气相沉积系统(MPECVD)
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铁电压电综合测试系统
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