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伯东贸易（深圳）有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | 线性霍尔离子源 eH Linear |
| 品牌： | Atonarp | 产地： | 美国 |
| 关注度： | 10 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 供应商性质 | 总代理 | 产地类别 | 进口 |
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发布时间：2023年02月
因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准
KRI 线性霍尔离子源 eH Linear
上海伯东代理美国原装进口 KRI 线性离子源使用 eH 400 做为模组, 能应用于宽范围的衬底, 离子源长度高达 1 米, 通过严格调整模组间的距离可以实现最佳的均匀性和离子流. 由于模组是平行放置, 大大简化了气体, 功率和电子三者的分布. KRI 线性离子源使用标准的端部霍尔模组并使设备的需求简化, 一个低成本, 高电流和低能量的离子束可以很好的使用于 web 涂层, in-line 沉积和圆柱旋转溅射系统.
霍尔离子源 eH 400 尺寸
尺寸: 直径= 3.7“ 高= 3”
放电电压 / 电流: 50-300eV / 5A
操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体
KRI 霍尔离子源 eH Linear 技术参数
型号 | eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5 |
供电 | DC magnetic confinement |
- 电压 | 40-200V VDC |
- 阳极结构 | 模块化 |
电源控制 | eHL-30010A |
配置 | - |
- 阴极中和器 | Filamentless |
- 离子束发散角度 | > 45° (hwhm) |
- 阳极 | 标准或 Grooved |
- 底座 | 移动或快接法兰 |
- 高度 | 10 cm |
宽度 | 10 cm |
- 长度 | ~ 100cm |
-工艺气体 | Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others |
Model | eHL 200-3 | eHL 200-5 |
Height (nominal) | 2.9” (7.4cm) | 2.9” (7.4cm) |
Width (nominal) | 3.3” (8.4cm) | 3.3” (8.4cm) |
Length (nominal) | Determined by number of modules & application | Determined by number of modules & application |
Cathode/Neutralizer | Yes | Yes |
Anode module | Yes | Yes |
Filamentless | Yes | Yes |
Orientation | Vertical / Horizontal | Vertical / Horizontal |
Process gases | Inert, reactive, & organic | Inert, reactive, & organic |
Power controller | eH Plasma Power Pack | eH Plasma Power Pack |
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
