技术指标:
真空系统 | 两级直联旋片真空泵 | 真空检测 | 皮氏计 |
真空保护 | 配有微量充气阀,用于调节离子流的大小 | 工作气体 | 空气或氩气 |
产品尺寸 | 工作腔室:内径Ф100 x 130毫米 载物台:小载物台直径Ф40毫米, 可同时放六个样品杯;大载物台直径Ф60毫米 金靶尺寸:Ф58毫米 |
真空检测:皮氏计
真空系统:两级直联旋片真空泵
工作气体:空气或氩气
真空保护:配有微量充气阀,用于调节离子流的大小
工作腔室:内径Ф100 x 130毫米
载物台:小载物台直径Ф40毫米, 可同时放六个样品杯;大载物台直径Ф60毫米
金靶尺寸:Ф58毫米
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