溅射设备：CS-200z

产品型号：CS-200z

品牌：爱发科

产品产地：日本

产品类型：进口

原制造商：爱发科

状态：在售

厂商指导价格： 298.8万元[人民币]

上市时间： 2020-11-14

英文名称：CS-200z sputtering equipment

优点：​在真空条件下，氩气在DC或RF作用下产生氩离子，高能的氩离子撞击靶材 产生溅射。溅射出的原子或分子离开靶材，沉积在基板表面，形成薄膜。成膜种类：金属，合金材料，SiO2，TaN，陶瓷等。成膜面积大，均匀性好，Load-lock，托盘式，多基板尺寸，2inch-8inch兼容。