| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 读入功能 | 4单元画像数据自动选择，读入功能(带有观察条件自动取得功能) |
| 测量性能 | 深度精度 ±20%(参考值) 取决于校准精度，样品材质，观察模式。 测量性能 可检测角度 ±50° (参考值) 观察模式为采用“标准模式”时的参考值。 观察模式为“带电减轻模式”，而观察条件为“表面”时，上述参考精度不在对象之列。 |
| 测量功能 | 断面显示 各种校准功能 测量图像上指定的任意两点间的X(横向)，Y(纵向)，长度和角度。 测量功能 测量表面积 测量断面上两点间的X(横向)，Y(纵向)，长度和角度。 测量断面上的表面粗糙度 断面显示的深度方向放大功能 基线补偿功能(直线，曲线) 鸟瞰图显示 彩色等高线显示 |
| 三维显示功能 | 旋转，放大 显示履历动画记录功能(AVI文件) |
| 对应OS | Windows® VISTA Home Premium(SP1)(32-bit)／Windows® 7 Professional(32-bit) |
3D图像抓取功能
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 抓取功能 | 背散射电子检测器的4单元画像数据自动取得 |
| 抓取像素数 | 640×480，1,280×960像素 |
| 抓取图像的亮度调整 | 自动 |
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超过检测角度的陡峻样品，其凹凸结构有时可能无法正确显示。
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