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牛津仪器电子束刻蚀参数

发布时间:2024-04-30 14:10

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牛津PlasmaPro 100等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD)

牛津仪器科技(上海)有限公司

  • 牛津PlasmaPro 100
  • 等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD)
  • Plasma Etch & Deposition Systems
  • 英国
  • 2012年

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