GB/T 42158-2023
微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

Description and measurement methods of micro-groove and pyramid-like needle structures in microelectromechanical systems (MEMS) technology

GBT42158-2023, GB42158-2023

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标准号

GB/T 42158-2023

别名

GBT42158-2023, GB42158-2023

发布

2023年

发布单位

国家质检总局

当前最新

GB/T 42158-2023

 

 

《GB/T 42158-2023 微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法》是由中国国家标准化管理委员会发布的一项标准。该标准旨在规范微机电系统（MEMS）技术中微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法。 微沟槽和棱锥式针结构是微机电系统中常见的两种重要元件，广泛应用于传感器、执行器、光学器件等领域。这些结构的几何形状和尺寸对于其性能和功能起着关键作用。因此，准确描述和测量微沟槽和棱锥式针结构的形状和尺寸对于保证其质量和可靠性至关重要。 该标准首先详细描述了微沟槽和棱锥式针结构的几何形状特征，包括表面形貌、纵横比、角度等。然后，针对这些特征，提出了一套完整的测量方法，包括光学显微镜、扫描电子显微镜等仪器的使用。标准中还介绍了测量过程中的注意事项和误差控制方法，以确保测量结果的准确性和可重复性。 通过遵循《GB/T 42158-2023》标准，可以有效规范微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法，提高微机电系统元件的制造质量和性能可靠性。同时，该标准还为相关企业和科研机构提供了一个统一的技术规范，有助于促进微机电系统技术的发展和应用。

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