GB/T 34894-2017
微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
Micro-electromechanical system technology—Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
GBT34894-2017, GB34894-2017
- 标准号
- GB/T 34894-2017
- 别名
- GBT34894-2017, GB34894-2017
- 发布
- 2017年
- 发布单位
- 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 34894-2017