SJ/T 31273-1994
EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法

Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for EVP-13480 magnetron sputtering machines

标准号

SJ/T 31273-1994

发布日期

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31-550

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了EVP-13480型磁控溅射机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于EVP-13480型磁控溅射机，其它规格的磁控溅射机亦可参照执行。