SJ/T 31273-1994
EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for EVP-13480 magnetron sputtering machines
SJT31273-1994, SJ31273-1994
- 标准号
- SJ/T 31273-1994
- 别名
- SJT31273-1994, SJ31273-1994
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 31273-1994
- 适用范围
- 本标准规定了EVP-13480型磁控溅射机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于EVP-13480型磁控溅射机，其它规格的磁控溅射机亦可参照执行。