JB/T 2965-1992
溅射离子泵性能测试方法

Performance testing method of sputtering ion pump

标准号

JB/T 2965-1992

发布日期

1992年12月25日

实施日期

1993年07月01日

废止日期

无

中国标准分类号

J78

国际标准分类号

23.160

发布单位

CN-JB

被代替标准

JB 2965-1981

适用范围

本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。
本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。

JB/T 2965-1992 中可能用到的仪器设备