缺点:工作气压高(10-2Torr),高真空泵不起作用;沉积速率低,基片升温高,只能用金属靶(绝缘靶导致正离子累积) 2.射频溅射 图 射频溅射工作示意图 射频频率:13.56MHz 特点:电子作振荡运动,延长了路径,不再需要高压。射频溅射可制备绝缘介质薄膜射频溅射的负偏压作用,使之类似直流溅射。 ...
(防止蒸碳污染溅射仪腔室)。可以用热肥皂水定期清洁腔室,并充分干燥。不建议使用试剂,这可能会影响健康安全。如果沉积物太顽固,可以考虑使用厨房百洁布(比如思高、3M、妙洁)。可以使用异丙醇清洗金属表面。但不要用丙酮,它不仅会影响健康安全,而且更难回姂干净,会影响真空性能。千万不要在没有隔断真空泵的情况下,让溅射腔长时间处于真空状态。通常情况下,手动操作阀门可以隔断真空泵与腔室。...
质谱仪:包含电离合、质量选择器和离子检测器。 真空系统:由非蒸发吸气剂泵和小型溅射离子泵提供,非蒸发吸气剂泵内装有特殊的锆合金,被加热时可非常有效地吸附气体分子 ,非蒸发吸气剂泵对抽除活性气体效果明显,但无法抽除惰性气体。溅射离子泵用于抽除氩、氖和氪等气体,以免这些气体聚积在质谱仪中导致压强上升和干扰其运行。数据处理系统由控制和分析软件构成。 三操作过程常用采样方式有直接进样法和顶空进样法。...
图 3:2DIBS 设施,有多个射频离子源,用于利用离子束溅射沉积对基材进行双面镀膜。该系统还配备了两台型号为 ATH3204M 的涡轮分子泵及 ACP 28 多级罗茨干泵作为前级泵。...
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