ASTM F1569-94(1999)
ASTM F1569-94(1999)

标准号

ASTM F1569-94(1999)

发布

1970年

发布单位

/

当前最新

ASTM F1569-94(1999)

 

 

引用标准

ASTM E456 ASTM E691 ISO 10012-1 ISO 8402

适用范围

1.1 本指南涵盖了在缺乏来自既定来源的合适认证参考物质的情况下生成一套共识参考物质 (ConRefs) 的程序。
1.2 本指南涵盖了为半导体技术所需的特定属性或相关属性系列生成一组 ConRef 所需采取的步骤。
1.3 生成 ConRef 集的程序基于根据实践 E 691 的实验室间测试。出于本指南的目的，假设实验室间研究 (ILS) 评估的测试方法适合于确定会议参考文献本指南不涵盖几种可能的测试方法之一的选择，也不涵盖在测量 ConRef 属性时必须使用其他参考材料的情况。
1.4 本指南还描述了可用于生成共识属性值的程序，这些共识属性值可构成生成多组 CRM 或参考材料 (RM) 的基础。

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