ASTM F1528-94(1999)
ASTM F1528-94(1999)
- 标准号
- ASTM F1528-94(1999)
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 当前最新
- ASTM F1528-94(1999)
- 引用标准
- ASTM E122
- 适用范围
- 1.1 本测试方法涵盖使用二次离子质谱 (SIMS) 测定大量单晶、重掺杂 n 型硅基板中的总痕量硼污染。
1.2 本测试方法适用于锑、砷或磷的掺杂浓度低于 0.2%（1 × 1020 原子/cm3）的硅。该测试方法特别适用于硅，其中硼（p 型掺杂剂）是痕量水平的无意污染物（