SJ 3244.2-1989
砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法已作废

Methods of measurement for crystal lattice mismatch between substrate of Gallium arsenide and Indium phosphide and extended layer of heterojunction

标准号

SJ 3244.2-1989

发布日期

1989年03月20日

实施日期

1989年03月25日

废止日期

2010-02-25

中国标准分类号

H83

国际标准分类号

29.045;31-030

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了异质结外延层与衬底之间晶格失配的测量原理、步骤、计算方法。 本标准适田于以下范围：外延层表面晶向偏差小于1.5^(·)。多层外延层总厚度不大于10μm。