本标准规定了异质结外延层与衬底之间晶格失配的测量原理、步骤、计算方法。 本标准适田于以下范围:外延层表面晶向偏差小于1.5^(·)。多层外延层总厚度不大于10μm。
SJ 3244.2-1989由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 1989-03-20,并于 1989-03-25 实施,于 2010-02-25 废止。
SJ 3244.2-1989 在中国标准分类中归属于: H83 化合物半导体材料,在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料,31-030 电子技术专用材料。
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