SJ 3249.3-1989
半绝缘砷化镓中铬浓度的红外吸收测试方法

Methods of measurement for chromium concentration in semi-insulation Gallium arsenide by infra-red absorption

标准号

SJ 3249.3-1989

发布日期

1989年03月20日

实施日期

1989年03月25日

废止日期

无

中国标准分类号

H83

国际标准分类号

29.045

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了半绝缘砷化镓中铬浓度的红外吸收测量原理、仪器设备、测量步骤、结果计算和精度等。 本标准适用于掺铬水平法生长半绝缘砷化镓中Cr浓度的测定，适于样品厚度2～4mm。不适于铬浓度大于1.5×10^(17)cm^(-3)的试样。

SJ 3249.3-1989 中可能用到的仪器设备