SJ 20717-1998
氧化锌压电薄膜规范
Specification for ZnO piezoelectric films
- 标准号
- SJ 20717-1998
- 发布
- 1998年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ 20717-1998
- 适用范围
- 本规范规定了氧化锌压电薄膜的要求、质量保证规定和交货准备等。 本规范适用于声体波微波延迟线及氧化锌(ZnO)、硅(Si)声表面波卷积器、存贮相关器使用的氧化锌压电薄膜。
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