SJ/T 10478-1994
磁控溅射设备通用技术条件
General specification for magnetic sputtering equipment
SJT10478-1994, SJ10478-1994
- 标准号
- SJ/T 10478-1994
- 别名
- SJT10478-1994, SJ10478-1994
- 发布
- 1994年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 10478-1994
- 适用范围
- 本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于磁控溅射设备。