SJ/Z 3206.13-1989
半导体材料发射光谱分析方法通则

General rules for emision spectrum analysis for semiconductor materials


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SJ/Z 3206.13-1989



标准号
SJ/Z 3206.13-1989
发布日期
1989年02月10日
实施日期
1989年03月01日
废止日期
2010-02-25
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31.020
发布单位
CN-SJ
适用范围
本标准适用于锗、硅、砷化镓、磷化铟和锑化铟等半导体材料发射光谱分析方法的一般通则,其内容包括基本原理、仪器、标准溶液配制、样品处理方法、摄谱条件的选择、以及有关的一般规定。

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