近日，中国科学院深圳先进技术研究院集成所功能薄膜材料研究中心研究员唐永炳及其团队成员通过对类金刚石（DLC）薄膜颜色和微结构的系统分析，并结合理论计算，揭示了不同种类DLC薄膜的颜色产生机理，成功发展出利用DLC薄膜颜色快速分析DLC薄膜种类和结构的新方法。...
椭偏仪1是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。由于厚度和折光率测量精度高，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量设备。利用椭偏仪来测量薄膜的过程就是椭偏仪测量。...
椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。 早期的椭偏研究主要集中于偏振光及偏振光与材料相互作用的物理学研究以及仪器的光学研究。计算机的发展和应用使椭偏数据的拟合分析变得容易，促使椭偏仪在更多的领域得到应用。...
由于光学薄膜的性能对器件的功能和质量有着重要的影响，薄膜厚度是薄膜设计和工艺制造中的关键参数之一。正因如此检测薄膜的各项技术得到快速发展，特别是纳米级薄膜技术的迅速发展，使得精确测量薄膜厚度成为薄膜技术研究领域中的热点问题。薄膜厚度是否均匀一致是检测薄膜各项性能的基础，它会影响整个器件的最终质量。因此薄膜厚度测量是光学薄膜制备的基础检测项目之一。...
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