DB53/T 501-2013
多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 DB53/T 501-2013 前三页，或者稍后再访问。

注意： 点击下载后，生成下载文件时间比较长，请耐心等待......

标准号

DB53/T 501-2013

发布日期

2013年08月01日

实施日期

2013年10月01日

废止日期

无

中国标准分类号

G 10

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

云南省质量技术监督局

适用范围

本标准规定了电感耦合等离子体质谱法测定多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的方法。本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的测定。