DB32/T 4378-2022
衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法
Four-probe method for non-destructive testing of sheet resistance of nanometer and submicron scale thin films on substrate surface
DB32/T 4378-2022 中，可能用到以下仪器设备
DB32/T 4378-2022相似标准
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半导体专业术语含义
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