重点用水工艺水效检测方法:制纯水系统 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
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1994年我国机械工业部发布《电力半导体器件工艺用高纯水》(JB/T 7621-1994),规定特级电子级高纯水EH-T与一级电子级高纯水EH-I的TOC限值分别为50与100 ppb。《电子级水》(GB/T11446-1997)中EW-Ⅰ级水要求TOC限值为20 ppb。...
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