GB/T 37049-2018
电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method

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标准号
GB/T 37049-2018
发布日期
2018年12月28日
实施日期
2019年04月01日
废止日期
无
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
77.040.30
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

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