T/IAWBS 005-2024
6~8英寸碳化硅单晶抛光片

6~8 inch polished monocrystalline silicon carbide wafers

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标准号: T/IAWBS 005-2024
发布: 2024年
发布单位: 中国团体标准
当前最新: T/IAWBS 005-2024

本文件规定了6~8英寸4H碳化硅单晶抛光片的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于生产电力电子器件、射频微波器件的外延材料用碳化硅单晶抛光片。

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