探针轮廓仪-台阶仪（品牌：美国Veeco 型号：Dekrak 150） 探针轮廓仪-台阶仪主要用于薄膜厚度、三维表面形貌的测量。 当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。...
薄膜沉积过程，通常生成的是非晶膜和多晶膜，沉积部位和晶态结构都是随机的，而没有固定的晶态结构。外延生长实质上是材料科学的薄膜加工方法，其含义是：在一个单晶的衬底上，定向地生长出与基底晶态结构相同或相似的晶态薄层。其他薄膜成膜方法，如电化学沉积、脉冲激光沉积法、溶胶凝胶法、自组装法等，也都广泛用于微纳制作工艺中。 ...
除此之外，可以测量大多数常用基材上的任何HR、PR或AR涂层（包括单层）。基材必须是厚度为1-12毫米的平面。可以按要求提供校准报告。光学涂层中的吸收损失会导致涂层和基底加热。对于平均激光功率在几千瓦及以上（连续波）的高功率激光器，即使在每百万分之几的吸收损失范围内，也会导致光学元件的显著加热。LAYERTEC已经建立了一个加热测量设置，用于1030纳米波长的高功率光学元件的质量保证和技术开发。...
以往，表面形态的测量方法，一般是采用触针式粗糙度测量仪等进行二维测量（线＋高差），但近年来，伴随着材料的薄膜化和微细构造化的加速，需要获取更多的信息，因此，采用扫描型白光干涉显微镜*2和激光显微镜*3等进行三维测量（面＋高差）便得到了灵活应用。 2010年制定了有关三维表面形态评估的国际标准ISO 25178，确立了评估方法，在这种背景下，实施三维测量的企业和研究机构等日益增多。...
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