仪器 主要包括四部分:①能够产生加速和聚焦一次离子束的离子源;②样品室和二次离子引出装置;③能把二次离子按质荷比分离的质量分析器;④二次离子检测和显示系统及计算机数据处理系统等(见图[离子探针质量显微分析仪])。应用 元素检测 能检测包括氢在内的、元素周期表上的全部元素,对不同的元素,检测灵敏度是不同的。...
二次离子质谱仪分 析对象包括金属及合金、半导体、绝缘体、有机物、生物膜等,应用领域包括化学、物理学 和生物科学等基础研究,并已遍及到微电子学、材料科学、催化、薄膜等领域。...
感兴趣的小伙伴快来戳下方查看直播回放↓04DSIMS在多领域材料中的表面痕量元素分析动态二次离子质谱(DSIMS)是一种极为灵敏的表面分析技术,通过高能量的一次离子激发样品表面,溅射出微量的二次离子,并对二次离子种类、含量、深度分布等进行分析,反映材料表面、界面、薄膜在微纳尺度内的元素结构和成分信息。...
针对半导体行业需求,可实现高纯(≥5N)铜、铝、钛、钽、钼等高纯溅射靶材中70种以上杂质元素快速检测;硅、碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等基材从原料至晶圆的全元素杂质检测;SiC等外延片镀层化学成分及杂质含量分布。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号