ASTM E983-19
俄歇电子光谱法中最小化不需要的电子束效应的标准指南

Standard Guide for Minimizing Unwanted Electron Beam Effects in Auger Electron Spectroscopy


标准号
ASTM E983-19
发布
2019年
发布单位
美国材料与试验协会
当前最新
ASTM E983-19
 
 
引用标准
ASTM E673 ASTM E996
适用范围
1.1 本指南概述了俄歇电子能谱 (AES) 中有害电子束效应的起源和表现。
1.2 提供了一些关于最有可能产生这些影响的电子束参数的一般准则,并就如何最大限度地减少这些影响提出了建议。
1.3 确定最有可能表现出有害电子束效应的一般材料类别。此外,还提供了一些已观察到遭受电子损伤效应的特定材料的列表。
1.4 概述了一种简单的方法,用于在常规 AES 分析期间确定这些影响的存在和程度。
1.5 以 SI 单位表示的值应被视为标准值。本标准不包含其他计量单位。
1.6 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题(如果有)。本标准的使用者有责任建立适当的安全、健康和环境实践,并在使用前确定监管限制的适用性。
1.7 本国际标准是根据世界贸易组织贸易技术壁垒(TBT)委员会发布的《关于制定国际标准、指南和建议的原则的决定》中确立的国际公认的标准化原则制定的。

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