IEC 60748-20-1:1994
半导体器件 集成电路 第20部分:膜集成电路和混合膜集成电路总规范 第1节:内部目检要求
Semiconductor devices; integrated circuits; part 20: generic specification for film integrated circuits and hybrid film integrated circuits; section 1: requirements for internal visual examination
- 标准号
- IEC 60748-20-1:1994
- 发布
- 1994年
- 发布单位
- 国际电工委员会
- 当前最新
- IEC 60748-20-1:1994
- 被代替标准
- IEC/DIS 47A(CO)272:1992
- 适用范围
- 目的是检查薄膜和混合集成电路的内部材料、结构和工艺。这些检查通常在攻丝或封装之前使用，以检测和消除具有内部缺陷的 F 和 HFIC