图3 MEMS加速度计MAXL-CL-3050Fig.3 MEMS accelerometer MAXL-CL-3050在测量精度提升方面,法国iXblue公司开发了一种新型石英振动传感器(图4),可用于高动态范围(100g)测量,具有导航级性能(零偏和标度因数重复性分别小于100μg和3×10-5)、低SWaP(小于10g和50mW)[33]。乔治亚理工学院的S....
根据敏感机理不同,MEMS加速度计可以分为压阻式、热流式、谐振式和电容式等。压阻式MEMS加速度计容易受到压阻材料影响,温度效应严重、灵敏度低,横向灵敏度大,精度不高。热流式加速度计受传热介质本身的特性限制,器件频率响应慢、线性度差、容易受外界温度影响。因此,热流式和压阻式加速度计主要用于对精度要求不高的民用领域或军事领域中的高g值测量。...
论文阐述了首个零偏不稳定性小于1μg的MEMS谐振梁加速度计的专用信号处理电路,该电路采用一种新型积分器级联微分器结构的跨阻式前置放大器,解决了传统跨阻式放大器设计中增益带宽积与噪声间的制约关系,实现了6.6fA/√Hz的输入电流噪声,为已报道过的应用于MEMS领域跨阻放大器的最低值。...
在MEMS技术中使用双轴加速度计可以提高性能标准。MEMS传感器技术规范测量量程±90°(可选择)灵敏度±0.01°LSB精度±0.1°工作温度范围-10°C~+85°C工作电压4.75±26Vdc工作电流22mA~100mA输出数字,标准AD重量约500g防护等级IP68混合测斜系统可用于垂直和水平布置,并可用于收敛测量。...
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