T/CNIA 0141-2022
多晶硅生产用氢气中金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法

Determination of metal impurity content in hydrogen for polysilicon production by inductively coupled plasma mass spectrometry

多晶硅生产用氢气中金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法, 您可以免费下载预览页

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试：免费下载 T/CNIA 0141-2022 前三页，或者稍后再访问。

您也可以尝试购买此标准，点击右侧 “立即购买” 按钮开始采购（由第三方提供）。

标准号: T/CNIA 0141-2022
发布: 2022年
发布单位: 中国团体标准
当前最新: T/CNIA 0141-2022

本文件规定了用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）测定多晶硅生产用氢气中钠、镁、铝、钙、铬、锰、铁、镍、铜、锌、砷、钛元素含量的方法。

T/CNIA 0141-2022相似标准

DB15/T 1239-2017 多晶硅生产净化氢气用活性炭中杂质含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法 GB/T 12963-2022 电子级多晶硅 YS/T 1195-2017 多晶硅副产品四氯化硅 DB64/T 1829.1-2022 宁夏“六新”产业高质量发展标准体系第1部分：新型材料 GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法

推荐

国标委发布2016年第23号国家标准含多项仪器标准

2,4-二硝基甲苯的测定气相色谱-质谱法　 2017-07-01 278 GB/T 33345-2016 电子电气产品中短链氯化石蜡的测定气相色谱-质谱法　 2017-07-01 284 GB/T 33351.1-2016 电子电气产品中砷、铍、锑的测定第1部分：电感耦合等离子体质谱法　 2017-07-01 285 GB/T 33352-2016 电子电气产品中限用物质筛选应用通则...

544项推荐性国家标准公布涉ICP、气相、离子色谱法等

/[70]富勒烯纯度的测定高效液相色谱法　　土壤、水系沉积物碘、溴含量的测定半熔-电感耦合等离子体质谱法　　铬铒共掺钇钪镓石榴石晶体光学及激光性能测量方法　　金属及其他无机覆盖层热障涂层耐热循环与热冲击性能测试方法　　金属及其他无机覆盖层温度梯度下热障涂层热循环试验方法　　锆化合物化学分析方法钙、铪、钛、钠、铁、铬、镉、锌、锰、铜、镍、铅含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法　　氮化铝材料中痕量元素...

国家及省市推进大规模仪器设备更新行动看仪器最新标准

2023化学纤维重金属含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法和电感耦合等离子体质谱法推标即将实施2023/12/282024/7/15GB/T 43604.1-2023镓基液态金属化学分析方法第1部分：铅、镉、汞、砷含量的测定电感耦合等离子体质谱法推标即将实施2023/12/282024/7/16GB/T 43589-2023金合金饰品多元素含量测定激光剥蚀-电感耦合等离子体质谱法推标即将实施...

又是杂质？岛津药物杂质综合分析方案来了！

MB-X的分析三重四极杆气质联用法测定丁酸氯维地平中基因毒性杂质丁酸氯甲酯和2,3-二氯苯甲醛含量三重四极杆液质联用系统测定甲磺酸伊马替尼中芳香胺类遗传毒性杂质含量药品中无机（元素）杂质分析ICH Q3D X-射线荧光光谱法分析原料药的元素杂质电感耦合等离子体光谱法测定原料药样品中的元素杂质含量利用电感耦合等离子体质谱测定药物中间体中Pd催化剂残留量电感耦合等离子体质谱法测定喷雾剂中的元素杂质含量利用电感耦合等离子体质谱测定葡萄糖注射液中重金属元素含量残留溶剂检测气相色谱结合顶空进样器测定药品中微量环氧氯丙烷残留顶空...

T/CNIA 0141-2022多晶硅生产用氢气中金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法