GB/T 20724-2021
微束分析 薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法
Microbeam analysis—Method of thickness measurement for thin crystals by convergent beam electron diffraction
GBT20724-2021, GB20724-2021
- 标准号
- GB/T 20724-2021
- 别名
- GBT20724-2021, GB20724-2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 20724-2021
- 引用标准
- GB/T 18907-2013 GB/T 27418-2017 ISO 15932:2013
- 被代替标准
- GB/T 20724-2006
- 适用范围
- 本文件描述了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜测定薄晶体试样厚度的会聚束电子衍射方法。 本文件适用于测定线度为几十纳米至几百微米、厚度在几十纳米至几百纳米范围内的薄晶体试样厚度。 注:由于透射电子显微镜薄试样的厚度往往不均匀,用会聚束衍射方法测定的是试样被电子束照明区的局域厚度。
GB/T 20724-2021相似标准
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