T/CCGA 30003-2019
超纯三氟化氮
Ultra pure nitrogen trifluoride
- 标准号
- T/CCGA 30003-2019
- 发布
- 2019年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/CCGA 30003-2019
- 适用范围
- 本标准规定了瓶装超纯三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电解合成粗品三氟化氮，通过精馏提纯生产的超纯三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺蚀刻剂和化学气相沉积的清洗剂。