GB/T 34899-2017
微机电系统(MEMS)技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy

GBT34899-2017, GB34899-2017


标准号
GB/T 34899-2017
别名
GBT34899-2017, GB34899-2017
发布
2017年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 34899-2017
 
 
引用标准
GB/T 2421.1 GB/T 25915.1 GB/T 26111

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