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我国在MEMS的设计和制造领域也取得了长足的发展。北京大学、清华大学、上海微系统所、中电13所、中电49所、中电55所、东南大学和上海交通大学等单位的研究在国内乃至国际均处于领先水平。本文所介绍的《硅基MEMS制造技术微键合区剪切和拉压强度检测方法》正是基于北京大学的科研成果而提出的一项国际标准提案。2....
美国陆军研究实验室演示验证了利用微机电系统制造工艺开发出的仿昆虫三关节腿式毫米级自主机器人系统，目前正在开发和测试毫米级的机器人腿形结构，包括压电薄膜制动器和铜薄膜分段结构，目的是用于模拟腿部动力学，使其具备移动、提升和抗冲击能力。微系统在雷达方面得到了广泛应用，在提高雷达性能的同时大幅缩小其重量和体积。...
他首先介绍了仿生生物微纳传感器的研究背景，并且以蜘蛛为例，讲述了狭缝传感器的研发经过，指出仿生感知技术进入微纳、分子尺度阶段，并且涉及到了仿生学、材料学、传感器、微电子、计算机、人工智能、无线通信等学科技术领域。报告中主要介绍了仿生嗅觉传感器的硅纳米线材料，还分享了嗅觉生物敏感材料的选择方法、仿生光探测器机理及检测原理、石墨烯探测器的检测方法，报告内容环环相扣，全面清晰。...
微元时代核心技术：SOG MEMS敏感结构加工工艺技术主要产品：硅基MEMS加速度计MUA100、MUG系列陀螺仪、硅基MEMS惯性测量单元MUS600目标市场：无人驾驶、无人机、电子罗盘、地质勘探等。感芯微系统核心技术：扩散硅压力传感器等传感器芯片及其封装技术主要产品：汽车压力传感器和医疗压力传感器目标市场：汽车和医疗等行业。...
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