GB/T 17169-1997
硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection

GBT17169-1997, GB17169-1997


 

 

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标准号
GB/T 17169-1997
别名
GBT17169-1997
GB17169-1997
发布
1997年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 17169-1997
 
 
本标准规定了半导体硅抛光片和外延片表面常见缺陷的光反射无损检验方法。 本标准适用于半导体硅抛光片和外延片表面质量的无损检验。 本标准的检验结果与GB/T6624、GB/T14142的检验结果一致。

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