GB/T 17169-1997
硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection

GB/T 17169-1997 发布历史

本标准规定了半导体硅抛光片和外延片表面常见缺陷的光反射无损检验方法。 本标准适用于半导体硅抛光片和外延片表面质量的无损检验。 本标准的检验结果与GB/T6624、GB/T14142的检验结果一致。

GB/T 17169-1997由国家质检总局 CN-GB 发布于 1997-12-22，并于 1998-08-01 实施。

GB/T 17169-1997 在中国标准分类中归属于: H24 金相检验方法，在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。

GB/T 17169-1997的历代版本如下：

• 1997年12月22日 GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

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标准号

GB/T 17169-1997

发布日期

1997年12月22日

实施日期

1998年08月01日

废止日期

无

中国标准分类号

H24

国际标准分类号

29.045

发布单位

CN-GB

适用范围

本标准规定了半导体硅抛光片和外延片表面常见缺陷的光反射无损检验方法。 本标准适用于半导体硅抛光片和外延片表面质量的无损检验。 本标准的检验结果与GB/T6624、GB/T14142的检验结果一致。

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