ISO/TR 15969:2001
表面化学分析 深度描述 溅射深度测量
Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurement of sputtered depth
- 标准号
- ISO/TR 15969:2001
- 发布
- 2001年
- 中文版
- GB/T 29557-2013 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 替代标准
- ISO/TR 15969:2021
- 当前最新
- ISO/TR 15969:2021
- 适用范围
- 本技术报告提供了溅射深度剖面测量中溅射深度的指南。本技术报告中描述的溅射深度测量方法适用于表面化学分析技术，当与离子轰击结合使用时，将固体样品的一部分去除到典型的高达几微米的溅射深度。
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