GB/T 1557-2006
硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
GBT1557-2006, GB1557-2006
- 标准号
- GB/T 1557-2006
- 别名
- GBT1557-2006, GB1557-2006
- 发布
- 2006年
- 采用标准
- ASTM F1188-00 MOD
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 1557-2018
- 当前最新
- GB/T 1557-2018
- 引用标准
- ASTM E131 GB/T 14264
- 被代替标准
- GB/T 1557-1989 GB/T 14143-1993
- 适用范围
- 本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。 本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω•cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω•cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。 本标准测量氧含量的有效范围从1×1016at•cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。
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