本标准规定了涡轮分子泵性能参数的测量方法,它适用于所有规格和所有型式的涡轮分子泵。 包括: a) 带机械或磁轴承的; b) 带或不带附加牵引级的。 注:由于涡轮分子泵需要前级泵支持,下列曲线将作为对体积流率—人口压力的曲线补充,以完全确定其性能: 一流量曲线; 一——压缩比曲线; 人口压力变化曲线。 包括全部有关区域和各种气体。
ISO 5302-2003由国际标准化组织 IX-ISO 发布于 2003-07。
ISO 5302-2003 在中国标准分类中归属于: J78 真空技术与设备,在国际标准分类中归属于: 23.160 真空技术。
* 在 ISO 5302-2003 发布之后有更新,请注意新发布标准的变化。
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