ISO 5302:2003
真空技术.涡轮分子泵.性能特征的测量

Vacuum technology - Turbomolecular pumps - Measurement of performance characteristics


标准号
ISO 5302:2003
发布
2003年
中文版
GB/T 7774-2007 (等同采用的中文版本)
发布单位
国际标准化组织
当前最新
ISO 5302:2003
 
 
引用标准
ISO 3529-2
适用范围
本标准规定了涡轮分子泵性能参数的测量方法,它适用于所有规格和所有型式的涡轮分子泵。 包括: a) 带机械或磁轴承的; b) 带或不带附加牵引级的。 注:由于涡轮分子泵需要前级泵支持,下列曲线将作为对体积流率—人口压力的曲线补充,以完全确定其性能: 一流量曲线; 一——压缩比曲线; 人口压力变化曲线。 包括全部有关区域和各种气体。

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