ASTM E986-04
扫描电子显微镜射束尺寸特征描述标准实施规程

Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization

被代替

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标准号

ASTM E986-04

发布

2004年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM E986-04(2010)

当前最新

ASTM E986-04(2017)

 

 

适用范围

作为第一步，SEM 的传统分辨率测试需要在高放大倍数下拍摄细颗粒样品的显微照片。操作员需要测量显微照片上两个相邻但独立的边缘之间的距离。这些边缘的间距通常小于一毫米。由于具有如此小直径和低电流的光束的信噪比，它们的图像质量通常不是最佳的。操作员的判断取决于测量人员的个人敏锐度，并且可能存在很大差异。使用这种做法可以得到 SEM 电子束尺寸表征，其重现性明显高于使用细颗粒样品的传统分辨率测试。
1.1 这种做法提供了一种可重现的方法，通过该方法可以对扫描电子显微镜 (SEM) 的某一方面的性能进行评估。被表征。 SEM 的分辨率取决于许多因素，其中一些因素是电子束电压和电流、透镜像差、样品对比度以及操作员-仪器-材料相互作用。然而，任何条件下的分辨率都受到电子束尺寸的限制。该尺寸可以通过测量多种材料的有效表观边缘锐度来量化，建议使用其中两种材料。这种做法需要 SEM 能够对建议的材料执行线扫描跟踪，例如生成 Y 偏转波形。这种做法适用的 SEM 放大倍数范围为 1000 至 50 000 倍。可以尝试更高的放大倍数，但进行精确测量可能会遇到困难。
1.2 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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