ASTM F1724-96
用酸性萃取原子吸收光谱法测量多晶硅表面金属杂质的标准试验方法

Standard Test Method for Measuring Surface Metal Contamination of Polycrystalline Silicon by Acid Extraction-Atomic Absorption Spectroscopy

被代替

标准号

ASTM F1724-96

发布

1996年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM F1724-01

当前最新

ASTM F1724-01

 

 

引用标准

ASTM D5127 ASTM E122

适用范围

1.1 本测试方法涵盖使用酸从表面提取金属来定量测定多晶硅表面的表面痕量金属污染。然后通过石墨炉原子吸收光谱法分析酸中的金属含量。
1.2 该测试方法可用于各种棒状、块状、颗粒状和片状尺寸的多晶硅或单晶硅，以确定表面金属污染物。由于不规则形状的块、碎片或颗粒的面积难以精确测量，因此值基于样品重量。使用 300 g 的样品重量可实现 0.1 ppbw（十亿分之一重量）水平的检测限。
1.3 酸的强度、成分、温度和暴露时间决定了表面蚀刻的深度和酸的提取效率。来自表面的污染物。本试验方法去除的样品重量小于 1%。
1.4 本试验方法适用于测定碱金属元素、碱土金属和第一系列过渡元素，如钠、钾、钙、铁、铬、镍、铜、锌以及铝等其他元素。使用有意添加到多晶硅表面的控制标准，测得这些元素从硅表面的回收率大于 90%。
1.5 该测试方法建议特定的样品尺寸、酸成分、蚀刻周期、测试环境和仪器协议。可以使用这些参数的变化，但可能会影响加工过程中金属的回收效率或保留。实际上，该测试方法适用于 25 至 5000 g 的样品重量。出于裁判目的，本测试方法规定样品重量为 300 克。该测试方法包括提醒分析人员注意该测试方法中的干扰和由此产生的变化的指南，并包括量化和报告这些变化的标准方法。
1.6 该测试方法规定使用石墨炉原子吸收光谱法来分析痕量金属含量的酸提取物。可以使用具有同等灵敏度的其他仪器，例如电感耦合等离子体/质谱法。
1.7 检测限和方法变化取决于酸提取程序的效率、样品量、方法干扰、每种元素的吸收光谱，以及仪器灵敏度、背景和空白值。
1.8 本测试方法采用热酸蚀刻掉硅表面。蚀刻剂具有潜在危害，必须在酸性排气烟罩中处理，并始终极其小心。氢氟酸溶液特别危险，不熟悉相应材料安全数据表中给出的具体预防措施和急救处理的任何人不应使用。
1.9 本标准并不旨在解决所有安全问题，如果任何与其使用相关的。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。第 9 节给出了具体的预防措施说明。

ASTM F1724-96相似标准

推荐