EN ISO 14644-4:2001
洁净室和相关控制环境.第4部分:设计,建造和启用 ISO 14644-4-2001

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 4: Design, construction and start-up (ISO 14644-4:2001)

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2023-03

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标准号: EN ISO 14644-4:2001
发布: 2001年
发布单位: 欧洲标准化委员会
替代标准: EN ISO 14644-4:2022
当前最新: EN ISO 14644-4:2022

适用范围: ISO 14644 的这一部分规定了洁净室装置的设计和施工要求，但没有规定满足这些要求的具体技术或合同手段。它供洁净室安装的购买者、供应商和设计者使用，并提供重要性能参数的清单。提供施工指导，包括启动和资格认证的要求。通过考虑运行和维护的相关方面来确定确保持续令人满意的运行所需的设计和施工的基本要素。注：关于

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