AS ISO 14606-2006
表面化学分析．溅射深度剖析．用层状膜系为参考物质的优化方法

Surface chemical analysis - Sputter depth profiling - Optimization using layered systems as reference materials

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标准号

AS ISO 14606-2006

发布日期

实施日期

废止日期

无

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

AU-SA

适用范围

Adopts ISO 14606:2000 to give guidance on the optimization of sputter depth profiling parameters using appropriate single-layered and multi-layered reference materials in order to achieve optimum depth resolution as a function of instrument settings.