AS ISO 14606:2006
表面化学分析．溅射深度剖析．用层状膜系为参考物质的优化方法
Surface chemical analysis - Sputter depth profiling - Optimization using layered systems as reference materials
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- 标准号
- AS ISO 14606:2006
- 发布单位
- 澳大利亚标准协会
- 适用范围
- Adopts ISO 14606:2000 to give guidance on the optimization of sputter depth profiling parameters using appropriate single-layered and multi-layered reference materials in order to achieve optimum depth resolution as a function of instrument settings.
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