GB/T 4061-2009
硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion
- 标准号
- GB/T 4061-2009
- 发布日期
- 2009年10月30日
- 实施日期
- 2010年06月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- CN-GB
- 被代替标准
- GB/T 4061-1983
- 适用范围
- 本标准规定了以三氯氢硅和四氯氢硅为原料在还原炉内用氢气还原出的硅多晶棒的断面夹层化学腐蚀检验方法。 本标准关于断面夹层的检验适用于以三氯氢硅和四氯氢硅为原料,以细硅芯为发热体,在还原炉内用氢气还原沉积生长出来的硅多晶棒。