GB/T 24576-2009
高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法

Test method for measuring the Al fraction in on AlGaAs substrates by high resolution X-ray diffraction

GB/T 24576-2009 中，可能用到以下仪器

 

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GB/T 24576-2009

标准号
GB/T 24576-2009
发布日期
2009年10月30日
实施日期
2010年06月01日
废止日期
无
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-GB
适用范围
本标准规定了用高分辨X射线衍射测量GaAs衬底上AlGaAs外延层中Al含量的试验方法。 本方法适用于在未掺杂GaAs衬底<001>方向上生长的AlGaAs外延层中Al含量的测定，使用本方法测量Al元素含量时， AlGaAs外延层厚度应大于300 nm。

GB/T 24576-2009系列标准

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GB/T 24576-2009 中可能用到的仪器设备

气质联用仪 扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM 光纤光谱仪 核磁共振波谱仪 同位素质谱仪 ICP-MS 电镜制样设备 X射线衍射仪(XRD) X射线显微镜 X射线散射仪 X射线(衍射)仪/能谱仪部件及外设 X荧光光谱/XRF（能量色散型X荧光光谱仪） 透射电镜TEM 近红外光谱仪 工业CT X射线实时成像检测系统 化学合成仪 动物代谢等功能检测设备


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